技术文章您的位置:网站首页 >技术文章 >讲一讲微流控芯片刻蚀过程相关注意事项

讲一讲微流控芯片刻蚀过程相关注意事项

更新时间:2022-05-23   浏览次数:260次
   微流控芯片是一种以在微纳米尺度空间中对流体进行操控为主要特征的科学技术,具有将生物、化学等实验室的基本功能诸如样品制备、反应、分离和检测等缩微到一个几平方厘米芯片上的能力,其基本特征和优势是多种单元技术在整体可控的微小平台上灵活组合、规模集成。作为一种微全分析技术平台可以应用于各个分析领域,如生化医疗诊断、食品和商品检验、环境监测、刑事科学、军事科学和航天科学等重要应用领域,其中生物医学分析是热点。
  由于微流控芯片的构件尺寸和细胞吻合,并可同时测定物理量、化学量和生物量,它已成为对哺乳动物细胞及其微环境进行操控的*潜力的平台,可以用于仿生实验室。目前已可以构建微米量级且相对封闭的三维细胞培养、分选、裂解等操作单元,并把这些单元成功延伸到组织和器官。器官芯片是一种更接近仿生体系的模式,可在一块几平方厘米的芯片中培养各种活体细胞,形成组织器官,乃至由不同器官芯片进一步组成活体芯片,从而模拟一个活体的行为并研究活体中整体和局部的种种关系。在药学领域,器官芯片将被部分替代小白鼠等模型动物,用于验证候选药物,开展毒理和药理作用研究。
  微流控芯片刻蚀过程相关注意事项:
  光刻板制好后就可以进行常规的光刻刻蚀工艺了,一般做微流控芯片的刻蚀深度都比较深,有时候可能需要先做一层硬掩模,厚度与刻蚀深度相关。刻蚀的时候一般选择等离子体刻蚀进行加工,对于不同的材料选择不同的气源。等离子体刻蚀是一种以化学反应为主的干法刻蚀工艺,刻蚀气体分子在高频电场作用下,产生等离子体。等离子体中的游离基化学性质十分活泼,利用它和被刻蚀材料之间的化学反应,达到刻蚀芯片的目的。
 

微流控芯片

 

在线咨询
咨询热线

18118481917

[关闭]